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THz 材料特性の検出

製品の特徴

◆測定エリアのサイズはカスタマイズ可能で、死角はありません。

◆非接触・非破壊検査。

◆各種電気特性測定（抵抗率、PN判定、比誘電率、少数キャリア寿命、移動度、反り、膜厚）に対応

適用範囲

◆ 抵抗率測定

◆ PN判定

◆ 誘電率

◆ 移行の検出

◆ 反り検出

◆ 厚み検出

◆ 少数キャリアの寿命

	テラヘルツ（電磁波の原理）	渦電流（電磁場の原理）	プローブ4本（回路原理）
検出方法	非接触・非破壊検査	非接触・非破壊検査	接触破壊検査
検出エリアサイズ	測定エリアのサイズはカスタマイズ可能で、死角はありません	検知エリアが広く、中央に死角がある	測定エリアのサイズはカスタマイズ可能で、死角はありません
環境の影響を受ける	測定精度は周囲の光、温度、距離の影響を受けません	測定精度は距離に大きく影響されます	測定精度は圧力に影響されます
関数	抵抗率、PN判定、誘電率、少数キャリアライフタイム、移動度、反り、厚さ	抵抗率	抵抗率

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