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テラヘルツ変位検出

製品の特徴

◆遠距離・近距離測定に対応

◆検出物体の表面粗さの影響を無視できる

◆サポートラインスキャン

◆電気特性検出をサポート

◆測定精度は周囲の光や温度の影響を受けません

適用範囲

◆ 高精度の変位変化

◆ 液面・物質面

◆ 膜の厚さ

◆ コーティングの厚さ

	テラヘルツ検出厚さ	レーザー厚さ測定	分光共焦点膜厚測定
環境の影響を受ける	光や温度の影響を受けない	温度の影響を受けやすい	温度の影響を受けやすい
測距範囲	遠距離・近距離測定に対応	狭い範囲の距離・厚み測定	単一点測定のみをサポート
平面度の影響	表面粗さの影響は無視できる	表面粗さは精度に大きな影響を与えます	表面粗さは精度に大きな影響を与えます
ラインスキャン	サポート	サポートしません	サポートしません
電気的特性の検出	サポート	サポートしません	サポートしません

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